半導(dǎo)體行業(yè)中常見真空計有電阻真空計(皮拉尼真空計)、熱電偶真空計、電容真空計、電離子真空計、冷陰極電離真空計和全量程真空計等。其中冷陰極電離真空計又分為潘寧規(guī)、磁控管規(guī)和反磁控管規(guī)三種川。全量程真空計是低真空計和高真空計的組合;電阻真空計量程寬，比較常用;熱電倆真空計量程窄，結(jié)構(gòu)簡一單，不易損壞;電容真空計測量值不受氣體種類的影響;電離真空計屬于高真空計，會發(fā)熱;冷陰極電離真空計屬于高真空計，不發(fā)熱，易維修;全量程真空計自動量程切換，使用方便。
現(xiàn)在的大多數(shù)真空計探測頭和信號處理電路做在一起，這樣能提高抗干擾能力并且促進(jìn)其小型化。大多數(shù)探測頭使用金屬材質(zhì)而不是玻璃材質(zhì)，這樣更結(jié)實小巧。真空計顯示控制器也要求小型化，有的做到了體積為105mmx110mmx250mm,質(zhì)量為1.3kg，帶3個接頭，每個接頭可以接電阻真空計或冷陰極電離真空計等，這種智能型真空計控制器攜帶和使用都很方便。
