滑閥式真空泵的抽氣原理與旋片泵相似，但兩者結(jié)構(gòu)不同。滑閥式真空泵是利用滑閥機(jī)構(gòu)來改變吸氣腔容積的，故稱滑閥泵。
滑閥泵亦分單級(jí)泵和雙級(jí)泵兩種，有立式和臥式兩種結(jié)構(gòu)形式。單級(jí)泵的極限壓力為0.4～1.3Pa；雙級(jí)泵的極限壓力為6×10-2 —10-1Pa。一般抽速超過150L/S的大泵都采用單級(jí)形式。這種泵可單獨(dú)使用，也可作其它泵的前級(jí)泵用。
1．工作原理
滑閥泵的結(jié)構(gòu)主要由泵體及在其內(nèi)部作偏心轉(zhuǎn)動(dòng)的滑閥、半圓形的滑閥導(dǎo)軌、排氣閥、軸等組成(見圖1)。
圖1：滑閥式真空泵結(jié)構(gòu)原理圖
泵體中裝有滑閥環(huán)(4)，滑閥環(huán)內(nèi)裝有偏心輪(3)，偏心輪固定在軸(2)上，軸與泵體中心線相重合。在滑閥環(huán)上裝有長(zhǎng)方形的滑閥桿(5)，它能在半圓形滑閥導(dǎo)軌(7)中上下滑動(dòng)及左右擺動(dòng)，因此泵腔被滑閥環(huán)和滑閥桿分隔成A、B兩室。泵在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中，由于A、B兩室容積周期性地改變，使被抽氣體不斷進(jìn)入逐漸增大容積的吸氣腔；同時(shí)，在排氣腔隨著其容積的縮小而使氣體受壓縮，并通過排氣閥排出泵外。
雙級(jí)型的滑閥泵，實(shí)際上是由兩個(gè)單級(jí)泵串聯(lián)起來的。它的高、低真空室在同一泵體上，有的是直接鑄成一個(gè)整體，有的是壓入中隔板把泵腔分成高、低兩室。
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